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로체시스템즈, 반도체 웨이퍼 식각 공정 특허 취득 입력 : 2014-03-05 오후 12:59:30 크게 작게 [뉴스토마토 양지윤기자] 로체시스템즈(071280)는 '웨이퍼 식각 시스템 및 이를 이용한 웨이퍼 식각 공정'에 대한 특허권을 취득했다고 5일 공시했다. 회사 관계자는 "특허 기술이 웨이퍼 식각 시스템에 관한 것"이라면서 "반도체 제조공정라인에 적용할 예정"이라고 설명했다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지
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