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테스, 반도체 장비 적용 기판처리시스템 관련 특허 취득 입력 : 2016-11-16 오후 5:34:33 크게 작게 [뉴스토마토 고경록기자] 테스(095610)는 반도체 장비에 적용되는 기판처리시스템과 관련 특허권을 취득했다고 16일 공시했다. 고경록 기자 gr7640@etomato.com ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지
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