테스, 기판 반송용 블레이드 관련 특허 취득

입력 : 2010-07-01 오후 3:31:14

[뉴스토마토 김도엽기자] 테스(095610)는 기판 반송용 블레이드와 이를 구비하는 기판 반송 장치 특허를 취득했다고 1일 공시했다.

  

테스는 "블레이드와 기판(웨이퍼)의 접촉 면적을 최소화 할 수 있어 기판과 블레이드 사이 접촉에 따른 파티클 발생을 최소화할 수 있다"고 설명했다.

 

뉴스토마토 김도엽 기자 ironical16@etomato.com

- Copyrights ⓒ 뉴스토마토 (www.newstomato.co.kr) 무단 전재 및 재배포 금지 -

ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지

김도엽 기자

김도엽기자의 다른 뉴스

관련기사

• 참엔지니어링, 디스플레이 패널 수리 관련 특허 취득
• 안철수연구소, 이동식디스크 통한 악성 프로그램 차단 특허
• (오늘場 한줄전략)펀더멘털 훼손은 없다
• 오텍, 장애인용 차량관련 특허 취득
• 웅진케미칼, 광학필름과 백라이트 유닛 특허 취득