테스, 반도체 제조장치 특허 취득

입력 : 2010-10-05 오후 2:25:17

[뉴스토마토 한형주기자] 테스(095610)는 반도체 제조장치 특허를 취득했다고 5일 공시했다.

 

테스 관계자는 "이 특허로 공정 가스의 불안정한 기류 발생을 방지하고 열 손실을 막으며, 기판 상에 증착되는 박막의 균일성을 향상시킬 수 있다"고 밝혔다.

 

그는 "장비 제조시 특허기술을 적용할 경우 기술력과 원가경쟁력을 강화할 수 있다"고 덧붙였다.

 

뉴스토마토 한형주 기자 han9906@etomato.com

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한형주 기자

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