주성엔지니어링, 반도체 관련 특허권 취득

입력 : 2011-01-19 오전 10:03:10

[뉴스토마토 김나볏기자] 주성엔지니어링(036930)이 반도체 제조용 인젝터에 관해 특허를 취득했다고 19일 공시했다.

 

이번 특허는 서로 다른 기체물질의 독립적 분사를 돕는 인젝터에 관한 것이다. 주성엔지니어링은 이번 특허를 활용해 반도체 사업 경쟁력 강화를 꾀한다는 계획이다.

 

뉴스토마토 김나볏 기자 freenb@etomato.com

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