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SMEC, 고정밀 기술 특허 취득 입력 : 2011-12-07 오후 1:30:36 크게 작게 [뉴스토마토 김원정기자] SMEC(099440)는 레이저를 이용한 비아홀 가공장치의 특허권을 얻었다고 7일 공시했다. 해당특허는 유연성을 가진 기판이나 반도체의 웨이퍼 제조공정라인에 적용하는 고정밀 기술이라고 이 회사는 밝혔다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지
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