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테스, 기판처리장치 특허권 취득 입력 : 2012-03-06 오후 3:12:20 크게 작게 [뉴스토마토 윤성수기자] 테스(095610)는 기판처리장치 특허권을 취득했다고 6일 공시했다. 테스 관계자는 "장비 제조시 특허 기술을 적용해 제품 경쟁력을 강화할 것"이라고 밝혔다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지
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