테스, 열교환용 양극판 반도체 제조장비 특허권 취득

입력 : 2012-03-20 오후 2:14:23

[뉴스토마토 임효정기자] 테스(095610)는 '열교환용 플레이트(양극판)가 구비된 트랜스퍼 챔버 및 반도체 제조장비'에 관한 특허권을 취득했다고 20일 공시했다.

 

이번 특허로 인해 열에너지 낭비를 방지하고, 공정속도도 향상되는 효과가 있을 것이라고 테크는 설명했다.

 

ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지

임효정 기자

임효정기자의 다른 뉴스

관련기사

• 큐캐피탈, 대표이사 7만주 장내매도
• 상신이디피, 자사주 20만주 처분키로
• 한국항공우주, 항공부품 공급 계약..1.4조원 규모
• 하이트진로 "日 공장 인수 검토 중"
• 수출포장, 허정훈 부사장 50주 장내매수