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원익IPS, 하부주입 RPG 세정용 공정 챔버 특허 입력 : 2012-04-03 오후 2:01:59 크게 작게 [뉴스토마토 김보선기자] 원익IPS(030530)는 '하부주입 RPG 세정용 공정 챔버' 특허권을 취득했다고 3일 공시했다. 이 특허는 공정 챔버 하부를 세정하기 위해 별도의 세정가스 분사부를 갖는 공정 챔버에 관한 것으로, 회사측은 이를 반도체 장비에 적용할 예정이다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지
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