테스, 로드락 챔버 특허권 취득

입력 : 2012-04-24 오후 3:09:31

[뉴스토마토 김희주기자] 테스(095610)가 웨이퍼 정렬장치와 이를 포함하는 로드락 챔버를 개발하여 특허권을 취득했다고 24일 공시했다.

 

회사는 이 기술을 통해 반도체 제조의 생산성을 향상시켜 제품경쟁력을 강화할 예정이다.

 

ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지

김희주 기자

김희주기자의 다른 뉴스

관련기사

• 루보, 에어리얼 캠 유니트 특허권 취득
• 제너시스템즈, 지시패키지 공유 시스템 특허권 취득
• 테스, 47억 규모 반도체 제조장비 공급계약
• 안랩, AP 접속 승인 시스템 특허권 취득
• 안랩, 단말장치 보안문서 실행법 특허권 취득