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테스, 실리콘 산화막의 건식식각 특허 취득 입력 : 2012-05-08 오후 3:12:03 크게 작게 [뉴스토마토 김원정기자] 테스(095610)는 실리콘 산화막의 건식 식각 방법에 관한 특허를 취득했다고 8일 공시했다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지
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