테스, 기판 처리장치 관련 특허 취득

입력 : 2012-05-22 오후 3:23:14

[뉴스토마토 임애신기자] 테스(095610)는 공정 부산물의 축적을 줄여 공정 균일도를 크게 개선하는 기판 처리장치 관련 특허를 취득했다고 22일 공시했다.

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임애신 기자

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