에스엔유, 박막 가공장치 특허권 취득

입력 : 2013-01-23 오후 5:35:30
[뉴스토마토 이한승기자] 에스엔유(080000)는 박막 가공장치에 대한 특허권을 취득했다고 23일 공시했다.
 
회사는 이에 대해 태양전지를 제작하는 과정에서 기판의 가장자리 부위의 변형 및 손상 없이 공정상에 발생하거나 남아 있는 이물질을 효과적으로 제거할 수 있는 가공장치라고 설명했다.
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이한승 기자
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