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테스, 플라즈마 처리장치 특허권 취득 입력 : 2013-04-23 오전 11:16:49 크게 작게 [뉴스토마토 조필현기자] 테스(095610)는 23일 반도체 제조시 전극의 수명을 증가시키고, 생산성을 향상시킬 수 있는 플라즈마 처리장치 특허를 취득했다고 공시했다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지
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