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탑엔지니어링, 반도체 기판처리 특허권 취득

입력 : 2013-06-07 오전 11:08:25
[뉴스토마토 이준영기자] 탑엔지니어링(065130)은  반도체 기판 처리 장치에 관한 특허권을 취득했다고 7일 공시했다.
 
탑엔지니어링은 "이번 발명은 기존의 리프트 핀 대신 개선된 가이드 링을 이용해 반도체 기판을 척에 로딩하도록 하는 척 구조체 및 이를 이용한 반도체 기판 처리 장치에 대한 것"이라며 "불균일한 온도 구배 발생을 방지할 수 있다"고 말했다.
 
탑엔지니어링은 증착장비의 경쟁력을 강화할 계획이라고 밝혔다.
 
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이준영 기자
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