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테스, 기판처리시스템 관련 특허권 취득 입력 : 2013-07-23 오후 5:40:19 크게 작게 [뉴스토마토 임효정기자] 테스(095610)는 기판처리시스템 및 이를 이용한 기판처리방법에 관한 특허권을 취득했다고 23일 공시했다. 이번 특허를 통해 장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력을 강화한다는 계획이다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지
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