IGZO MOCVD 기술은 기존 액정표시장치(LCD) 패널 구동소자의 재료인 비결정(amorphous) 실리콘보다 전자 이동 속도를 약 100배 가까이 높여, 차세대 고해상도·초고선명 디스플레이 제조를 가능하게 하는 기술이다.

 

기존 LCD패널보다 밝고 전력을 덜 사용해 고해상도의 모바일 기기 디스플레이에 적합한 것으로 알려져 있다.

 

AUO는 지난해 중반부터 주성의 신개념 IGZO MOCVD 기술을 차세대 디스플레이 패널에 시험 적용하는 평가에 나서왔다.

 

주성의 IGZO MOCVD방식은 이미 지난 5월 캐나다 밴쿠버에서 열린 국제 정보디스플레이 학회(SID)에서 기존 PVD 방식 대비 이동도(Mobility)가 3배 이상 증가하고 전력소모량 또한 20% 이상 저감되는 효과가 있다는 평가 결과를 발표하며 기술적 우위를 인정받은 바 있다.

 

 

한편, 주성은 이번에 IGZO MOCVD와 함께 공급되는 무결점의 LS(Local Space) PECVD도 공급한다.

 

LS PECVD는 차세대 디스플레이의 초고선명도와 고해상도 실현을 위해 주성이 세계 최초로 개발한 혁신적인 미래형 신개념 장비다.

 

특히, 플라즈마를 유리 기판과 이격시켜 필요한 부분에만 플라즈마를 발생시킴으로써 기존 PECVD의 단점인 Plasma Damage와 Plasma Arcing에 의해 발생되는 문제를 해결하고 또한 증착 과정에서 발생되는 파티클과 불순물을 제로(Zero) 수준으로 제거할 수 있는 세계 최초의 무결점 장비다.

 

주성은 "IGZO 기술이 증착 방식을 CVD 공정으로 개발한 세계 최초·최고의 투명 Oxide TFT 기술을 구현한 세계 유일의 기술로 향후 성장 잠재력이 무궁한 미래형 디스플레이까지 안정적으로 적용할 수 있디"며 "장비의 시장 선점을 위한 파급력 또한 상당할 것"으로 기대했다.

 

이와 함께 발광다이오드(OLED), 투명 및 플렉시블 디스플레이 등 차세대 기술대응과 1초에 480장 이상의 화면을 고속 처리하는 차세대 디스플레이 구현까지 가능한 만큼 이번 공급을 시작으로 차세대 디스플레이의 세계 시장 확대에 주력키로 했다.

 

주성 관계자는 "현재 세계적으로 차세대 디스플레이 핵심 기술에 대한 경쟁이 치열하게 진행되고 있다"며 "이번 IGZO MOCVD와 LS PECVD의 첫 공급을 발판으로 급변하는 디스플레이 시장에서 가파른 매출성장을 이끌어 낼 것"이라고 강조했다.