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테스, 플라즈마 처리장치 관련 특허권 취득 입력 : 2013-09-24 오후 2:48:24 크게 작게 [뉴스토마토 황민규기자] 테스(095610)는 플라즈마 처리장치 및 처리방법에 대한 특허권을 취득했다고 24일 공시했다. 테스는 "해당 특허를 적용하면 기판의 이동시간과 장비에 로딩 언로딩하는 시간을 단축시켜 생산성을 크게 향상시킬 수 있다"고 설명했다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지
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