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STS반도체, 포토레지스트 베이크 장치 특허 취득 입력 : 2015-06-12 오전 9:45:20 크게 작게 STS반도체(036540)가 포토레지스트 베이크 장치 관련 특허를 취득했다고 12일 공시했다. 회사측으 "이번 발명에 따라 반도체 범핑 공정의 핵심기술인 포토리소그래피 공정의 제조경쟁력을 극대화할 예정"이라고 설명했다. 김미연 기자 kmyttw@etomato.com ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지
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