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에스엔유, 기판 결함 발생 빈도 최소화 관련 특허권 취득 입력 : 2015-07-27 오후 2:46:49 크게 작게 [뉴스토마토 이준혁기자] 에스엔유(080000)프리시젼은 '결함 발생 위치 분석 및 결함 발생 회피를 위한 작업 스케줄링 방법' 특허를 취득했다고 27일 공시했다. 이 특허는 작업 순서에 따라 챔버에 각각 제공되는 기판의 결함을 검토하고 결함 발생을 판단해 기판의 결함 발생 빈도를 최소화할 수 있는 방법이다. 회사 측은 이 특허를 디스플레이 제조장비 등에 활용할 계획이라고 밝혔다. 이준혁 기자 leejh@etomato.com ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지
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