위지트, 기판의 온도 균일성이 향상된 서셉터 관련 특허 취득

입력 : 2016-09-02 오전 11:12:30

[뉴스토마토 고경록기자] 위지트(036090)는 기판의 온도 균일성이 향상된 서셉터에 대한 특허를 취득했다고 2일 공시했다.

 

회사 측은 "본 특허 기술이 적용된 제품은 전체적인 온도 균일성 및 히터의 수명이 향상됨으로써 공정 중 기판의 얼룩발생을 방지 할 수 있는 제조 방법을 제공한다"고 밝혔다.

 

고경록 기자 gr7640@etomato.com

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