주성엔지니어링, 냉각베이스 특허 취득

입력 : 2010-10-06 오후 2:46:05

[뉴스토마토 한형주기자] 주성엔지니어링(036930)은 열 부하를 효과적으로 제어할 수 있는 정전척의 냉각베이스 특허권을 취득했다고 6일 공시했다.

 

이를 통해 반도체 장비사업의 경쟁력을 강화한다는 계획이다.

 

뉴스토마토 한형주 기자 han9906@etomato.com

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한형주 기자

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