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주성엔지니어링, 로드락장치·챔버 특허 취득

입력 : 2011-01-10 오후 2:14:53
[뉴스토마토 한형주기자] 주성엔지니어링(036930)은 로드락 장치와 이를 설치한 로드락 챔버와 관련해 대만과 중국특허를 취득했다고 10일 공시했다.
 
이 발명은 로드락 장치에서 기판의 이송속도 한계를 향상시킨 로드락 장치와 이를 설치한 로드락 챔버에 관한 특허다.
 
주성엔지니어링 관계자는 "이 특허를 반도체, 평판디스플레이(FPD), 태양광사업 경쟁력 강화에 활용할 것"이라고 말했다.
 
뉴스토마토 한형주 기자 han9906@etomato.com

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한형주 기자
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