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위지트, 정전척 장치 관련 특허 취득 입력 : 2012-01-18 오전 10:48:53 크게 작게 [뉴스토마토 김경훈기자] 위지트(036090)는 전극봉, 정전척 기판처리장치에 관한 특허를 취득했다고 18일 공시했다. 이번 특허는 LCD 드라이 에처(Dry Etcher) 장비의 핵심부품 중 하나인 정전척 하부전극의 전원공급에 관한 것이다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지
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