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원익IPS, 가스분사장치·기판처리장치 관련 특허권 2종 취득 입력 : 2012-01-18 오후 2:14:05 크게 작게 [뉴스토마토 김경훈기자] 원익IPS(030530)는 '가스분사장치 및 이를 이용한 기판처리장치'와 '샤워헤드 어셈블리 및 이를 구비한 기판 처리 장치'에 관한 특허권을 취득했다고 18일 공시했다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지
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