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탑엔지니어링, 플라즈마 처리장치 특허권 취득 입력 : 2012-02-09 오후 1:05:13 크게 작게 [뉴스토마토 원나래기자] 탑엔지니어링(065130)은 플라즈마 데미지 프리 스퍼터 건 및 이를 구비한 스퍼터 장치와 이를 이용한 플라즈마 처리장치 및 성막 방법 등의 특허권을 취득했다고 9일 공시했다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지
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