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에스엔유, 박막 증착 시스템 특허권 취득 입력 : 2012-02-17 오후 5:24:59 크게 작게 [뉴스토마토 이보라기자] 에스엔유(080000)프리시젼은 박막 증착 장치 시스템에 관한 특허권을 취득했다고 17일 공시했다. 회사는 특허에 대해 "증착기내 공정 챔버를 효율적으로 연결하고 박막 공정을 병행적으로 실시하여 비용 절감 및 생산성을 향상시킬 수 있는 기술"이라고 공시했다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지
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