테스, 기판처리장치 특허취득

입력 : 2012-02-21 오후 1:56:12

[뉴스토마토 정세진기자] 테스(095610)는 21일 기판처리장치에 대한 특허를 취득했다고 공시했다.

 

회사는 이 특허를 활용하면 기판의 균일한 가열과 신속한 이송 및 균일한 가스분사가 가능해져 우수한 품질의 기판을 높은 효율로 생산할 수 있다고 설명했다.

 

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정세진 기자

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