[뉴스토마토 김세연기자] 반도체와 태양전지 장비업체인 테스(095610)는 반도체 전공정에 적용되는 하이브리드시스템(Hybrid System)의 양산이 순조롭게 진행되며 연간 누적 매출이 400억원에 달한다고 19일 밝혔다.

 

테스는 또 이날 SK하이닉스(000660)에 하이브리드 시스템을 포함한 55억원 규모의 반도체 제조장비를 공급한다고 공시했다.

 

이는 최근 매출액 대비 7.73% 수준으로 이달 들어서만 SK하이닉스에 공급한 반도체 제조장비는 총 100억원이상에 달한다.

 

테스가 세계 최초로 개발해 지난 2월 양산 판매에 나선 300밀리미터(mm) 웨이퍼용 하이브리드 시스템은 가스방식의 에칭과 세정(Cleaning)은 물론 가스 에칭과 트리트먼트(Treatment)를 동시에 수행할 수 있는 복합장비로 공정미세화 원활화와 원가절감에 크게 기여할 수 있는 신개념의 장비다.

  

테스 관계자는 "현존하는 Wet 에칭장비나 플라즈마 에칭장비로는 공정이 미세화돼 증가하는 박막(Thin-film) 산화물의 선택적인 식각이 어려운데다 패턴 무너짐 등이 발생해 공정상 20 나노대까지의 미세화가 지속되는 과정에서 수율제어에 어려움이 있었다"며 "양산에 성공한 하이브리드 시스템을 통해 박막 산화물을 효과적으로 제거 할 수 있고, 웨이퍼 표면에 생기는 유기물 오염등 미세한 막질을 원활히 제거 할 수 있어 수율향상이 가능하다"고 강조했다.

 

특히, "개별적인 2개의 장비가 수행하던 공정을 하나의 장비에서 수행함에 따라 장비면적(Footprint) 축소는 물론 공정시간 단축과 설비투자 감소로 인한 원가절감도 기대된다"고 덧붙였다.

 

주숭일 테스 대표이사는 "하이브리드 시스템은 반도체 제조공정의 미세화가 지속에 따른 새로운 니즈(Needs)를 충족시키기 위해 개발된 장비"라며 "고객의 성능 검증과 공정기술도 장비 안정화와 양산에 도움이 됐다"고 말했다.

 

또 "이후에도 복잡해지고 새로워지는 반도체 기술 패러다임에 맞는 새로운 장비를 지속 출시해 장비 다변화를 통한 성장 동력 강화와 반도체장비 분야에서의 리더쉽을 향상 시킬 것"이라고 밝혔다.

 

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