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원익IPS, 가스분사 장치 관련 특허권 취득 입력 : 2012-08-03 오전 10:16:51 크게 작게 [뉴스토마토 이한승기자] 원익IPS(030530)는 지난 2일 가스분사 장치 및 이를 구비하는 기판 처리장치에 대한 특허권을 취득했다고 3일 공시했다. 회사는 이 특허가 반도체 제조 장치 중 가스분사 장치에서 공급되는 공정 가스의 흐름을 원활하게 하고 파티클 발생을 억제하기 위한 기술이라고 설명했다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지
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