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로체시스템즈, 기판 가공장치 관련 특허권 취득 입력 : 2013-05-31 오후 1:19:13 크게 작게 [뉴스토마토 박진아기자] 로체시스템즈(071280)는 정전척 및 이를 갖는 기판 가공 장치와 관련한 특허권을 취득했다고 31일 공시했다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지
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