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원익IPS, 챔버 세정 관련 특허 취득 입력 : 2013-06-17 오후 1:46:01 크게 작게 [뉴스토마토 박진아기자] 원익IPS(030530)는 비정질탄소막 증착공정에서의 챔버 세정 장치 및 이를 이용한 챔버 세정 방법에 대한 특허를 취득했다고 17일 공시했다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지
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