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테스, 반도체소자 제조방법 특허 취득 입력 : 2013-09-03 오전 10:35:07 크게 작게 [뉴스토마토 김하늬기자] 테스(095610)는 반도체소자 제조방법에 관한 특허를 취득했다고 3일 공시했다. 이번 특허는 포토리소그래피에 의해 형성가능한 최소패턴보다 미세한 패턴을 갖는 반도체소자를 제조할수 있는 기술이다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지
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