미코, '세미콘 코리아 2014' 참가

국내 최초 반도체 플라즈마 화학증착 공정용 세라믹 히터 전시

입력 : 2014-02-12 오전 9:52:38
[뉴스토마토 서유미기자] 소재부품전문기업 미코(059090)가 오는 14일까지 서울 코엑스에서 '세미콘 코리아' 전시회에 참가한다고 12일 밝혔다.
 
세미콘 코리아는 미국·일본·대만·독일 등 전 세계 20개국 500개사가 참가하는 국내 최대 규모 반도체 전시회다.
 
(사진제공=미코)
 
미코는 이번 전시회에서 300mm 세라믹히터와 세라믹 정전척 등 다양한 국산화 소재 부품을 전시한다.
 
특히 국내 최초로 대발한 반도체 플라즈마 화학증착 공정에 사용되는 세라믹 히터를 선보인다. 지난해 매출액 90억원을 기록한 장비다.
 
미코의 계열사 코미코도 전시회에 참가해 고가의 반도체·LCD 제조장비 소모성 부품의 제작 기술을 소개할 계획이다.
 
전선규 미코 대표이사는 "이번 반도체 산업의 축제에서 세라믹히터 등 첨단기술력을 바탕으로 한 제품으로 신규 거래처를 확보하겠다"고 설명했다.
 
 
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서유미 기자
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