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케이맥, 분광분석기 특허 취득 입력 : 2014-03-19 오후 1:09:58 크게 작게 [뉴스토마토 박진아기자] 케이맥(043290)은 중에너지 이온빔 산란을 이용한 분광분석기 특허권을 취득했다고 19일 공시했다. 회사 측은 "세계 최초 반도체 극초박막 분석기기인 'Nano-MEIS' 장비에 적용해 수 나노 사이즈에 해당하는 박막의 두께를 원자층의 두께분해능으로 측정하는데 활용할 계획"이라고 밝혔다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지
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