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테스, 기판처리방법 관련 특허 취득 입력 : 2014-09-02 오후 1:25:18 크게 작게 [뉴스토마토 박진아기자] 테스(095610)는 반도체 장비에 적용되는 기판처리방법 관련 특허권을 취득했다고 2일 공시했다. 회사 측은 "공정시간과 기판의 회전속도가 가변되더라도 기판의 회전속도를 제어해 기판의 전체 영역에서 균일한 공정처리가 이루어질 수 있는 효과를 얻을 수 있다"고 설명했다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지
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