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3S, 웨이퍼 수납용기 관련 특허 취득 입력 : 2015-04-14 오후 2:22:56 크게 작게 [뉴스토마토 임효정기자] 3S(060310)는 웨이퍼 수납용기 및 제조방법에 관한 특허권을 취득했다고 14일 공시했다. 이번 특허는 대전방지 특수형 웨이퍼 캐리어(S-FOUP) 등 당사에서 제작하는 웨이퍼 캐리어에 적용할 예정이다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지
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