헬스 건강&질병l보건의료정책l병&의원l제약
주성엔지니어링, 플라즈마 특허권 취득

입력 : 2009-10-12 오후 5:08:20
[뉴스토마토 박남숙기자] 주성엔지니어링(036930)은 12일 중국에서 플라즈마 식각장치 특허권을 취득했다고 공시했다.
  
회사측은 "이번 발명은 대기압 근처에서 플라즈마를 발생시켜 기판 단부의 막질을 제거할 수 있는 플라즈마 식각 장치"라고 설명했다. 
 
주성엔지니어링은 이 특허를 반도체와 디스플레이, 태양전지 장치 경쟁력 강화에 사용할 계획이라고 밝혔다.
 
뉴스토마토 박남숙 기자 joie@etomato.com

- Copyrights ⓒ 뉴스토마토 (www.newstomato.co.kr) 무단 전재 및 재배포 금지 -
ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지
박남숙 기자
박남숙기자의 다른 뉴스
관련기사
많이 본 뉴스
프라임 더보기