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주성엔지니어링, 액정표시장치 관련 특허 취득 입력 : 2010-02-05 오전 10:17:53 크게 작게 [뉴스토마토 박상정기자] 주성엔지니어링(036930)은 5일 액정표시장치용 박막증착장치에 대한 특허를 취득했다고 밝혔다. 이 장치는 FPD(Flat Panel Display)와 태양전지 장비에 사용되는 반응 챔버에서 열적 변형을 방지하고 박막의 두께 균일도를 향상 시킬 수 있는 가스분사장치다. 뉴스토마토 박상정 기자 aurapsj@etomato.com - Copyrights ⓒ 뉴스토마토 (www.newstomato.co.kr) 무단 전재 및 재배포 금지 - ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지
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