[뉴스토마토 김혜실기자]
바른전자(064520)는 현재 보다 더 넓고 정확하게 측정할 수 있는 기술인 ‘미세구조물의 잔류 응력 시험 패턴’ 특허를 취득했다고 9일 밝혔다.
이번 특허는 초소형 전기 기계 시스템(MEMS) 개발에 있어서 이종 박막 물질간의 잔류 응력을 정확하게 측정할 수 있는 기술이다.
이 기술을 응용하면 각 공정이 정확히 진행되는지 즉각적인 피드백을 받을 수 있어 안정된 공정관리를 도모할 수 있고, 시험 패턴의 배치 면적 축소를 통해 기판 위에 더 많은 소자를 배치할 수 있어 제품 단가를 줄일 수 있다.
지정환 바른전자 대표는 "이번 특허를 통해 연구수준에만 머물렀던 MEMS 관련 기술을 양산을 위한 기술로 끌어올리고, 다양한 응용 기술을 개발함으로써 회사의 경쟁력을 강화할 방침” 이라고 말했다.
현재 바른전자는 스마트폰에 사용되고 있는 MEMS 관성센서와 관련해 이미 40여건의 특허를 가지고 있다.