테스, 기판가열장치 관련 특허 취득

입력 : 2010-10-18 오후 2:14:52

[뉴스토마토 박제언 기자] 테스(095610)는 기판가열장치와 기판가열방법에 대한 특허를 취득했다고 18일 공시했다.

 

테스에 따르면 이번 특허는 기판가열장치와 기판가열방법에 관한 것으로 복수의 기판을 로딩해 가열할 수 있게 되므로, 작업처리량을 극대화할 수 있게 된다.

 

뉴스토마토 박제언 기자 emperor@etomato.com

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