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테스, 반도체 제조장치 특허 취득 입력 : 2010-12-20 오전 11:26:56 크게 작게 [뉴스토마토 김동현기자] 테스(095610)는 반도체 제조장치 특허를 취득했다고 공시했다. 이 특허를 활용하면, 고온에서의 공정과 저온에서의 공정을 모두 수행할 수 있고 기판의 온도를 빠르게 높여 작업처리량을 극대화할 수 있다. 뉴스토마토 김동현 기자 threecode@etomato.com - Copyrights ⓒ 뉴스토마토 (www.newstomato.co.kr) 무단 전재 및 재배포 금지 - ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지
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