테스, 플라즈마 발생 모듈 관련 특허 취득

입력 : 2013-05-21 오후 2:51:43

[뉴스토마토 박수연기자] 테스(095610)는 플라즈마 발생 모듈과 이를 포함하는 기판 처리 장치 관련 특허를 취득했다고 21일 공시했다.

 

테스 측은 "이번 특허 관련 장치는 대기압과 같은 높은 압력에서도 안정적인 방전이 가능해 라디칼을 이용한 기판 처리 공정이 용이하다"고 밝혔다.

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박수연 기자

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