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테스, 인라인 기판처리시스템 특허취득

입력 : 2013-08-07 오후 1:52:27
[뉴스토마토 최승근기자] 테스(095610)는 인라인 기판처리 시스템 관련 특허권을 취득했다고 7일 공시했다.
 
회사 측은 이번 특허에 대해 "트레이를 사용하지 않고 복수의 기판을 한 번에 공정 챔버로 이송할 수 있다"며 "특허기술을 적용해 제품경쟁력을 강화할 것"이라고 밝혔다.
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최승근 기자
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