참엔지니어링, 기판처리장치 특허 취득

입력 : 2014-05-07 오후 4:08:09

[뉴스토마토 임애신기자] 참엔지니어링(009310)은 기판 이송부 및 이를 구비하는 기판처리장치에 관한 특허를 취득했다고 7일 공시했다.

 

회사는 "이는 복수의 기판을 동시에 처리할 수 있는 배치 타입의 기판 처리 장치"라며 "향후 이 특허 기술을 활용해 반도체 생산 공정장비의 경쟁력을 강화할 것"이라고 밝혔다.

 

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임애신 기자

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