에스엔유, 비접촉식 프리얼라인 장치 특허권 취득

입력 : 2016-03-16 오후 2:56:41

에스엔유(080000)는 비접촉식 프리얼라인 장치 및 방법에 대한 특허권을 취득했다고 16일 공시했다.

 

회사 측은 "기판에 물질을 증착하기 위해서는 기판과 마스크의 정렬시키는 얼라인작업이 중요하다"며 "얼라인 시간을 단축 시키기 위해 사전에 예비정렬하는 프리얼라인 장치에 관한 특허"라고 설명했다.  

 

이정운 기자 jw8915@etomato.com

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