싸이맥스, 반도체 공정용 부품 관련 국내 특허 취득

입력 : 2016-09-09 오후 8:26:55

[뉴스토마토 고경록기자] 싸이맥스(160980)는 반도체 공정용 웨이퍼처리 장치에 들어가는 리크 방지 기능의 N2 퍼지 노즐 관련 국내 특허권을 취득했다고 9일 공시했다.

 

회사 측은 "특허기술을 적용해 제품경쟁력을 강화할 계획"이라고 밝혔다.

 

고경록 기자 gr7640@etomato.com

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