7일 지식경제부는 삼성전자, 하이닉스 등의 구매확약을 조건으로 경쟁력있는 중소 반도체장비기업의 연구개발(R&D)과 육성을 위해 이달부터 오는 2012년 11월까지 3년간 584억5000만원을 투입해 공동개발 지원에 나선다고 밝혔다.
지원대상은 외국기업이 아직 양산하지 않은 신장비 개발과 타 산업분야 응용가능성이 높은 7개 상용화 과제와 미래 성장을 위한 원천기술 개발 과제 5개 등 총 12개 과제다.
총 584억5000만원중 정부가 올해 111억5000만원을 포함한 359억5000만원의 재정을 투입하고 삼성전자와 하이닉스가 구매를 확약한 중소 장비업체가 225억을 투입해 상용화 개발에 나선다.
◇ 공동 구매확약 추진절차 
<자료 = 지식경제부>
총 7개 과제가 선정된 수요기업 구매연계형 기술개발에는
유진테크(084370), 디엠에스(
DMS(068790)), 케이씨테크(KC Tech) 등이 삼성전자·하이닉스와 공동 구매확약을 바탕으로 기술개발에 나선다.
에스앤유(SNU) 프리시젼, 국제일렉트릭코리아는 삼성전자와, 에이피티씨(APTC),
주성엔지니어링(036930)은 하이닉스와 각각 구매확약을 맺어 기술개발을 추진하게 된다.
이들 중소기업은 3년간 정부의 R&D 지원을 통해 삼성전자·하이닉스와 아직 양산되지 않은 차세대 장비와 30밀리미터(mm) 이하 반도체 생산에 사용되는 핵심 반도체 장비를 개발할 계획이다.
이와 함께 차세대 메모리소자(PRAM,RERAM)·450mm 차세대 웨이퍼에 대한 공정장비 관련 원천기술과 초고속 검사장비 핵심부품인 ASIC 칩 개발 등 반도체 장비기업의 원천기술 개발을 위한 5개 과제가 중점 추진된다.
상용화 개발이 성공적으로 수행될 경우 7개 반도체 장비의 경우 2013년이후 연간 2500억원, 5년간 1조2000억원의 매출을 기록할 수 있을 것으로 전망된다.
지경부는 "국내 주요반도체기업이 구매확약을 조건으로 중소 장비기업의 R&D를 지원하는 최초의 사례"며 "국내 개발장비에 대한 국제적 신뢰성을 확보하고 국내 장비기업의 수직계열화를 줄이고 대형화를 촉진할 것"이라고 기대했다.
◇반도체장비 상용화 기술개발 선정과제
<자료 = 지식경제부>
뉴스토마토 김세연 기자 ehouse@etomato.com
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