주성엔지니어링, 원자층증착방법 관련 특허권 취득

입력 : 2010-11-08 오후 12:43:16

[뉴스토마토 문경미기자] 주성엔지니어링(036930)은 산화알루미늄막의 원자층증착방법에서 특허권을 취득했다고 8일 공시했다.

 

회사 측은 "발명은 증착속도를 향상시키고, 소스가스의 소비량을 현저히 줄일 수 있는 원자층증착방법에 관한 특허"라고 설명했다.

 

뉴스토마토 문경미 기자 iris0602@etomato.com

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