테스, 기판처리 장치에 대한 특허 취득

입력 : 2010-11-08 오후 2:39:02

[뉴스토마토 문경미기자] 테스(095610)는 8일 기판처리 장치에 대한 특허를 취득했다고 공시했다.

 

테스는 "이번 특허로 하나의 챔버 내에서 복수의 기판을 가열 및 냉각할 수 있어 작업처리량을 극대화할 수 있게 됐다"고 설명했다.

 

뉴스토마토 문경미 기자 iris0602@etomato.com

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